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三坐標測量機和高精度測長機等一些精密測量設備，很多都會采用氣浮裝置作為測量平臺。因為高壓氣體通過空氣軸承中細小的氣眼進入工作面與導軌面之間，會形成均勻的氣隙，因為導軌間沒有摩擦和磨損，就可以保持長期的性能均勻性。空氣軸承的正常工作氣隙在3-10um之間。因此在壓力正常的條件下，保證壓縮空氣的純凈度及導軌面的平面度是空氣軸承正常工作的關鍵。
要保證空氣軸承正常穩定的工作，壓縮空氣必須符合ISO 8573-1標準，即含水體積質量為6g/m3，含油體積質量為05g/m3，微粒粒徑<15 um，體積質量為8g/m3。
為保障測量儀器的正常運行，空氣壓縮機輸送出的壓縮空氣溫度要保持在40~80 ℃之間，所以建議安裝冷凝設備，否則高溫氣體在管道內冷凝，會形成大量的冷凝水，勢必將腐蝕管道，產生鐵銹。所以建議對壓縮空氣的管線按照一定方式進行布置。
選用的冷凍干燥機應該具備10℃或更低的露點溫度，以防壓縮空氣噴射到導軌面產生冷凝水。管路內應該設置排水口，用于排除冷凝水和油。安裝完供氣管線后，在與過濾器連接之前，務必打開與冷凍干燥機連接的球閥，用高壓氣體直接清除管線內的雜質。
空氣過濾器裝置后面的管線禁止采用金屬管線，以防銹跡污染，最好采用柔性管線連接，并且盡量縮短長度，以減少管線中的壓降。
定期維護：每天用干凈綢布擦拭，由內向外擦拭氣浮導軌的工作區域，拖動測量機的各移動軸，檢查運動是否正常；每天要手工排除過濾器及排水口的油、水混合物，并檢查過濾器流量指示器是否工作正常，如果壓降超出規定的要求，則必須更換濾芯；經常用吸塵器清理機臺表面（防塵罩外表面）及工作環境，檢查壓力表示值是否正常。
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